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壓力傳感器是將壓力轉(zhuǎn)換為電信號(hào)并輸出的傳感器。 一般情況下,壓力表中的電氣儀表稱為壓力傳感器。 壓力傳感器通常由彈性傳感器和位移傳感器(或應(yīng)變計(jì))構(gòu)成。 彈性感應(yīng)元件的作用是使加載的力作用于某一面積,轉(zhuǎn)換成位移或變形,從位移感應(yīng)元件(參照位移傳感器)或變形計(jì)(參照電阻應(yīng)變計(jì)、半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì))轉(zhuǎn)換成與壓力有一定關(guān)系的電信號(hào)。 有時(shí)會(huì)將這兩個(gè)要素的功能一體化。 例如壓電電阻式傳感器中的固體壓力傳感器。 壓力是生產(chǎn)過程和宇宙、航空、國防工業(yè)中的重要工藝參數(shù),不僅要快速動(dòng)態(tài)測量,還要數(shù)字化顯示和記錄測量結(jié)果。 大型煉油廠、化工廠、電廠、鋼鐵廠等自動(dòng)化需要遠(yuǎn)程輸送壓力參數(shù)(參見遙測),要求壓力和其它參數(shù),如溫度、流量、粘度等一起轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào),并發(fā)送給計(jì)算機(jī)。 因此,壓力傳感器是非常受重視、發(fā)展迅速的傳感器。 壓力傳感器的發(fā)展趨勢是進(jìn)一步提高動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度、精度和可靠性,實(shí)現(xiàn)數(shù)字化和智能化等。 常用壓力傳感器有靜電電容式壓力傳感器、變磁阻式壓力傳感器(參照變磁阻式傳感器、差動(dòng)變壓器式壓力傳感器)、霍爾式壓力傳感器、光纖式壓力傳感器(參照光纖傳感器)、共振式壓力傳感器等。
壓力傳感器是使用zui的廣泛傳感器。 傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型零件為主,通過彈性元件的變形來指示壓力,但該結(jié)構(gòu)尺寸大,質(zhì)量重,不能提供電輸出。 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,也產(chǎn)生了半導(dǎo)體壓力傳感器。 其特點(diǎn)是體積小,質(zhì)量輕,精度高,溫度特性好。 特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體傳感器向小型化發(fā)展,且功耗小,可靠性高。
壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用zui的傳感器,廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航天、軍工、石油化學(xué)、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等多個(gè)行業(yè)。 天康壓力表、溫度計(jì)、電纜、光纜等多種產(chǎn)品在國內(nèi)擁有l(wèi)ing的頂級(jí)水平。
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